特氣柜主要應用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體，特氣柜的外殼上有一個抽風管，當發生小量氣體泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免氣體擴散產生更大危險。

特氣輸送系統裝置（特氣柜）

1. 特氣柜的功能設計

可分為單氣瓶/ 雙氣瓶/ 三氣瓶，氣瓶柜內的鋼瓶數設計可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

(1) 單鋼瓶的特氣柜設計通常使用于研究機構或實驗室等特氣使用點。工藝制程尚未有量產，氣體使用量小，現場可隨時協調停機進行鋼瓶之更換，其優點節省空間、成本低、但需透過日常之管理與協調以免中斷工藝制程造成損失。

(2) 雙氣瓶與三氣瓶特氣柜常用于量產工廠，工藝制程不允許停機情況，當一支鋼瓶氣體使用完后，另一支備用鋼瓶會自動轉為供氣，此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮氣是以鋼瓶或廠務端供應，當purge用的PN2統一由廠務端來供應時，所有特殊氣體供應系統不管是否相容，全部連接到同一個供應源，會有較高的風險值;萬一中央供應系統的PN2中斷，警報系統又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用purge,此時極有可能發生爆炸的事件發生，相同性質可使用同一瓶鋼瓶來purge增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應變方式。

(3) 三鋼氣柜成本不會差很多安全性會是最好的，只要空間允許應最優先選擇。

2.操作性設計：

一般氣瓶柜都設計有兩個特殊氣體鋼瓶，需自動切換的功能以達到連續供應不斷氣的目的，氣態氣體通常以壓力感應器來計算鋼瓶的剩余量，若是液態蒸氣壓氣體則以電子磅秤來偵測剩余量，當一瓶用完時會切換到另一瓶。

通常換鋼瓶時會執行下列幾種Purge:

(a)Pre-purge(換鋼瓶前)

首先將鋼瓶閥關閉，測試是否有關緊，用真空產生器將特殊氣體抽出，再用PN2來稀釋管壁內的特殊氣體，重復執行充吹的動作將管壁內的特殊氣體稀釋干凈，此時即可更換鋼瓶。

(b)Post-purge(換鋼瓶后)

通常以PN2來進行保壓測試，測試鋼瓶接頭是否銜接良好，再利用PN2重復執行充吹的動作來將鋼瓶接頭清潔干凈。

(c)Process purge(用特殊氣體)

直接用特殊氣體來Purge管壁，主要的目的是要將PN2完全的清除讓供氣的品質更好，不會因更換鋼瓶而供應品質受到影響，這個使用否主要根據客戶需求來。

(d)Hi pressure leak test(高壓測漏)

通常高壓燃燒性氣體會建議使用高壓測漏，因為經過高壓測漏更能確保鋼瓶接頭銜接沒問題。

一般鋼瓶更換時機大約是剩余10%的殘留量，但實際上應以工藝制程的需求來決定，這樣才會得到最佳的更換時間。再者，鋼瓶都有使用期限，操過使用期限因為部分特殊氣體會對鋼瓶造成為腐蝕，污染氣源。